VEO_JM sapphire 1.67X / F3.0

VEO_JM sapphire
1.67X / F3.0
VTシリーズ 16Kモデル(M95)に最適化された産業用レンズ

16K TDIラインスキャンカメラに最適化

VieworksのTDIラインスキャンカメラ用レンズとして設計されたVEO JMシリーズは、VT-16K(VTシリーズ、16K、M95)と組み合わせ使用することで高品質な画像を提供します。VEO JMシリーズは、82 mmのイメージサークルを備えた16K / 5 ㎛ラインスキャンカメラに最適です。

高性能な高倍率レンズ

VEO_JM SAPPHIRE 1.67X / F3.0は、1.67倍の倍率とF3.0の口径にて高いパフォーマンスを発揮する高倍率レンズです。 色収差は最小限に抑えられ、空間周波数が像面で72 LP / mm(物体面で120 LP / mm)に達しても最高の性能が維持されます。 VTシリーズカメラ(M95)との組み合わせにて、1ピクセルあたり3.0 ㎛の解像度を実現します。

優れた欠陥検出性能

高い倍率と解像度により、サブミクロンの欠陥検出が可能です。しきい値が15の場合、1.0 ㎛のピンホール欠陥と1.9 ㎛のアイランド欠陥を検出できます。 オープン欠陥とショート欠陥は、ピンホールの欠陥よりもさらに正確に検出できます。
※テストにて使用したVERI-PANEL、同軸照明用光学部品と実際の使用環境において、若干のばらつきが生じる場合があります。

アプリケーション

FPD (Flat Panel Display) 検査
半導体 / ウェハ検査
ウェブ / テキスタイル

性能

パラメータ 仕様 補足
倍率 1.67 (1.62 … 1.72)  
F/# F/3.0 … F/5.6 最適値 F/3.0
開口数 0.101 オブジェクト平面
Max. センサーサイズ [㎜] 82  
Infinite F/# F/3.0  
焦点距離 [㎜] 118  
被写界深度 [㎛] 57.4 @ P. CoC 10 ㎛
歪曲収差 < 0.05%  
波長 [㎚] 436 … 645 可視
ワーキングディスタンス [㎜] 50 (51 … 49) B/S … オブジェクト
ビームスプリッターサイズ 25 × 25 × 125  
トータルレングス [㎜] 495 ± 2 オブジェクトからセンサー
インターフェース V90 mount 0.75 pitch
アイリス 可変  
周辺光量 > 95%  
重量 [g] 1847  

オプティカルパラメータ

項目 パラメータ
Chief Ray Angle (Max.) in object plane CRA 7.3
Effective focal length f’eff [㎜] 117.88
Front focal length SF [㎜] -19.35
Back focal length S’F’ [㎜] 69.92
Principal plane distance HH’ [㎜] -7.88
Pupil magnification β‘P 0.972
Entrance pupil position SEP [㎜] 140.59
Exit pupil position S’AP [㎜] -44.7
Vertex width Σd [㎜] 177.32
※仕様は予告なく変更する場合があります