VEO_CS SAPPHIRE 1.67X / F3.2

VEO_CS SAPPHIRE
1.67X / F3.2
VTシリーズ 12Kモデル(M72)に最適化された産業用レンズ

12K TDIラインスキャンカメラに最適化

VieworksのTDIラインスキャンカメラ用レンズとして設計されたVEO CSシリーズは、VT-12K(VTシリーズ、12K、M72)と組み合わせ使用することで高品質な画像を提供します。VEO JMシリーズは、62.5 mmのイメージサークルを備えた12K / 5 ㎛ラインスキャンカメラに最適です。

高性能な高倍率レンズ

VEO_CS SAPPHIRE 1.67X / F3.2は、1.67倍の倍率とF2.9の口径にて高いパフォーマンスを発揮する高倍率レンズです。 色収差は最小限に抑えられ、空間周波数が像面で72 LP / mm(物体面で120 LP / mm)に達しても最高の性能が維持されます。 VTシリーズカメラ(M72)との組み合わせにて、1ピクセルあたり3.0 ㎛の解像度を実現します。

優れた欠陥検出性能

高い倍率と解像度により、サブミクロンの欠陥検出が可能です。しきい値が15の場合、1.2 ㎛のピンホール欠陥と2.2 ㎛のアイランド欠陥を検出できます。 オープン欠陥とショート欠陥は、ピンホールの欠陥よりもさらに正確に検出できます。
※テストにて使用したVERI-PANEL、同軸照明用光学部品と実際の使用環境において、若干のばらつきが生じる場合があります。

アプリケーション

FPD (Flat Panel Display) 検査
半導体 / ウェハ検査
ウェブ / テキスタイル

性能

パラメータ 仕様 補足
倍率 1.67 (1.57 … 1.77)  
F/# F/3.2 … F/5.6 最適値 F/3.2
開口数 0.103 オブジェクト平面
Max. センサーサイズ [㎜] 62.5  
Infinite F/# F/3.2  
焦点距離 [㎜] 88  
被写界深度 [㎛] 57.8 @ P. CoC 10 ㎛
歪曲収差 < 0.05%  
波長 [㎚] 400 … 1000 可視 … NIR
ワーキングディスタンス [㎜] 63.4 (65.4 … 64.4) B/S … オブジェクト
ビームスプリッターサイズ 25 × 25 × 80  
トータルレングス [㎜] 374.9 ± 2 オブジェクトからセンサー
インターフェース V70 mount 0.75 pitch
アイリス 可変  
周辺光量 > 95%  
重量 [g] 935  

オプティカルパラメータ

項目 パラメータ
Chief Ray Angle (Max.) in object plane CRA 7.3
Effective focal length f’eff [㎜] 87.8
Front focal length SF [㎜] -11.85
Back focal length S’F’ [㎜] 57.25
Principal plane distance HH’ [㎜] 0.16
Pupil magnification β‘P 1.1
Entrance pupil position SEP [㎜] 68.13
Exit pupil position S’AP [㎜] -39.13
Vertex width Σd [㎜] 106.65
※仕様は予告なく変更する場合があります