VEO JM DIAMOND
3.33X / F2.1
VTシリーズ 16Kモデル(M95)に最適化された産業用レンズ
16K TDIラインスキャンカメラに最適化
VieworksのTDIラインスキャンカメラ用レンズとして設計されたVEO JMシリーズは、VT-16K(VTシリーズ、16K、M95)と組み合わせ使用することで高品質な画像を提供します。VEO JMシリーズは、82 mmのイメージサークルを備えた16K / 5 ㎛ラインスキャンカメラに最適です。
高性能な高倍率レンズ
VEO_JM DIAMOND 3.33X / F2.1は、3.33倍の倍率とF2.1の口径にて高いパフォーマンスを発揮する高倍率レンズです。 色収差は最小限に抑えられ、空間周波数が像面で72 LP / mm(物体面で240 LP / mm)に達しても最高の性能が維持されます。 VTシリーズカメラ(M95)との組み合わせにて、1ピクセルあたり1.5 ㎛の解像度を実現します。
優れた欠陥検出性能
高い倍率と解像度により、サブミクロンの欠陥検出が可能です。しきい値が15の場合、0.6 ㎛のピンホール欠陥と1.1 ㎛のアイランド欠陥を検出できます。 オープン欠陥とショート欠陥は、ピンホールの欠陥よりもさらに正確に検出できます。
※テストにて使用したVERI-PANEL、同軸照明用光学部品と実際の使用環境において、若干のばらつきが生じる場合があります。
アプリケーション
FPD (Flat Panel Display) 検査
半導体 / ウェハ検査
ウェブ / テキスタイル
性能
パラメータ | 仕様 | 補足 |
---|---|---|
倍率 | 3.33 (3.2 … 3.4) | |
F/# | F/2.1 … F/4.0 | 最適値 F/2.1 |
開口数 | 0.18 | オブジェクト平面 |
Max. センサーサイズ [㎜] | 82 | |
Infinite F/# | F/2.1 | |
焦点距離 [㎜] | 121 | |
被写界深度 [㎛] | 16.4 | @ P. CoC 10 ㎛ |
歪曲収差 | < 0.05% | |
波長 [㎚] | 436 … 645 | 可視 |
ワーキングディスタンス [㎜] | 39 (40 … 38) | B/S … オブジェクト |
ビームスプリッターサイズ | 25 × 25 × 80 | |
トータルレングス [㎜] | 665 ± 2 | オブジェクトからセンサー |
インターフェース | V110 mount | 0.75 pitch |
アイリス | 可変 | |
周辺光量 | > 95% | |
重量 [g] | 3101 |
オプティカルパラメータ
項目 | パラメータ | 値 |
---|---|---|
Chief Ray Angle (Max.) in object plane | CRA | 4.2 |
Effective focal length | f’eff [㎜] | 121.5 |
Front focal length | SF [㎜] | -3.47 |
Back focal length | S’F’ [㎜] | 27.25 |
Principal plane distance | HH’ [㎜] | -19.23 |
Pupil magnification | β‘P | 0.95 |
Entrance pupil position | SEP [㎜] | 125.06 |
Exit pupil position | S’AP [㎜] | -87.57 |
Vertex width | Σd [㎜] | 193.01 |
※仕様は予告なく変更する場合があります