VEO_JM DIAMOND 3.33X / F2.1

VEO JM DIAMOND
3.33X / F2.1
VTシリーズ 16Kモデル(M95)に最適化された産業用レンズ

16K TDIラインスキャンカメラに最適化

VieworksのTDIラインスキャンカメラ用レンズとして設計されたVEO JMシリーズは、VT-16K(VTシリーズ、16K、M95)と組み合わせ使用することで高品質な画像を提供します。VEO JMシリーズは、82 mmのイメージサークルを備えた16K / 5 ㎛ラインスキャンカメラに最適です。

高性能な高倍率レンズ

VEO_JM DIAMOND 3.33X / F2.1は、3.33倍の倍率とF2.1の口径にて高いパフォーマンスを発揮する高倍率レンズです。 色収差は最小限に抑えられ、空間周波数が像面で72 LP / mm(物体面で240 LP / mm)に達しても最高の性能が維持されます。 VTシリーズカメラ(M95)との組み合わせにて、1ピクセルあたり1.5 ㎛の解像度を実現します。

優れた欠陥検出性能

高い倍率と解像度により、サブミクロンの欠陥検出が可能です。しきい値が15の場合、0.6 ㎛のピンホール欠陥と1.1 ㎛のアイランド欠陥を検出できます。 オープン欠陥とショート欠陥は、ピンホールの欠陥よりもさらに正確に検出できます。
※テストにて使用したVERI-PANEL、同軸照明用光学部品と実際の使用環境において、若干のばらつきが生じる場合があります。

アプリケーション

FPD (Flat Panel Display) 検査
半導体 / ウェハ検査
ウェブ / テキスタイル

性能

パラメータ 仕様 補足
倍率 3.33 (3.2 … 3.4)  
F/# F/2.1 … F/4.0 最適値 F/2.1
開口数 0.18 オブジェクト平面
Max. センサーサイズ [㎜] 82  
Infinite F/# F/2.1  
焦点距離 [㎜] 121  
被写界深度 [㎛] 16.4 @ P. CoC 10 ㎛
歪曲収差 < 0.05%  
波長 [㎚] 436 … 645 可視
ワーキングディスタンス [㎜] 39 (40 … 38) B/S … オブジェクト
ビームスプリッターサイズ 25 × 25 × 80  
トータルレングス [㎜] 665 ± 2 オブジェクトからセンサー
インターフェース V110 mount 0.75 pitch
アイリス 可変  
周辺光量 > 95%  
重量 [g] 3101  

オプティカルパラメータ

項目 パラメータ
Chief Ray Angle (Max.) in object plane CRA 4.2
Effective focal length f’eff [㎜] 121.5
Front focal length SF [㎜] -3.47
Back focal length S’F’ [㎜] 27.25
Principal plane distance HH’ [㎜] -19.23
Pupil magnification β‘P 0.95
Entrance pupil position SEP [㎜] 125.06
Exit pupil position S’AP [㎜] -87.57
Vertex width Σd [㎜] 193.01
※仕様は予告なく変更する場合があります