VTSシリーズ

VTS (VT SENSE) シリーズ
高感度BSIセンサー搭載 TDIラインスキャンカメラ

ハイブリッドTDIセンサー
VTSシリーズは、CCDを元にしたTDIピクセルアレイと、 CMOSの読み出し電子回路を組み合わせたハイブリッドセンサーを使用しています。 高速かつ高感度な撮像に加え、高いダイナミックレンジと低消費電力を実現しました。
高速高感度
VTSシリーズは、TDI方式にて最高256TDIステージによる256倍の感度での撮像が可能です。CXP-6、CXP-12インターフェースの採用により最高543kHzのラインレートを実現しました。
BSI (Back-Side Illuminated:裏面照射型) センサー
VTSシリーズのBSI(裏面照射型)TDIラインスキャンセンサーは、量子効率(QE)と信号対雑音比(SNR)を向上させ、可視、紫外、近赤外の領域での優れた画質を保証します。高感度を実現したVTSシリーズは、特に低照度の環境にて優れた性能を発揮します。

アプリケーション

FPD (Flat Panel Display) 検査
半導体 / ウェハ検査
ウェブ / テキスタイル

CXP-6

CXP-12

CoaXPress-over-Fiber